高纯试剂检测
检测机构：江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司
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检测对象 |
检测内容 |
检测范围 |
检测仪器 |
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DI水 |
微粒子（0.1~0.5μm） |
Particle range: 0.1 ~ 0.5 μm |
颗粒度测试仪 |
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杂质(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌等) |
检测限：1~10pptw |
ICP-MS |
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硝酸 |
微粒子（0.1~0.5μm） |
Particle range: 0.1 ~ 0.5 μm |
颗粒度测试仪 |
| 阳离子(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌等) | 检测限：1~10pptw |
ICP-MS |
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氢氟酸 |
微粒子（0.1~0.5μm） | Particle range: 0.1 ~ 0.5 μm |
颗粒度测试仪 |
| 阳离子(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌等) | 检测限：1~10pptw |
ICP-MS |
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硫酸 |
微粒子（0.1~0.5μm） | Particle range: 0.1 ~ 0.5 μm |
颗粒度测试仪 |
| 阳离子(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、 锌等) | 检测限：1~10pptw |
ICP-MS |
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盐酸 |
微粒子（0.1~0.5μm） | Particle range: 0.1 ~ 0.5 μm |
颗粒度测试仪 |
| 阳离子(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌等元素) | 检测限：1~10pptw |
ICP-MS |
