名称

牌号

用途

芯片封装镀铜添加剂

SFT-T-L-X

平整剂,适用于芯片封装TSV电镀铜工艺,在硫酸铜体系电镀时能吸附在晶圆表面高电流密度区域,降低铜沉积速度,从而提高晶圆表面镀层平整度。与抑制剂、加速剂配合使用,能满足各种尺寸TSV的镀铜要求,镀层致密、无缺陷、物理性能良好。

SFT-T-S-X

抑制剂,适用于芯片封装TSV电镀铜工艺,在硫酸铜体系电镀时能在孔口和内壁沉积,降低孔口和内壁的铜沉积速度,避免产生缺陷。与加速剂、平整剂配合使用,能满足各种尺寸TSV的镀铜要求,镀层致密、无缺陷、物理性能良好。

SFT-T-A-X

加速剂,适用于芯片封装TSV电镀铜工艺,在硫酸铜体系电镀时能快速扩散至孔底,增加trench深处的铜沉积速度。与抑制剂、平整剂配合使用,能满足各种尺寸TSV的镀铜要求,镀层致密、无缺陷、物理性能良好。

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芯片封装镀铜添加剂